Gocator5500系列同轴线共焦传感器Gocator4000系列FocalSpec系列Focal-UULA 3D线共焦扫描仪FOCALSPEC LCI1220FOCALSPEC LCI1620FOCALSPEC LCI401FOCALSPEC LCI1201FOCALSPEC LCI1600
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3D同轴线共焦传感器 |
Gocator 4000 系列 |
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Gocator 4000 系列引入同轴线共焦传感技术，扩充 LMI 现有的线共焦产品组合。该系列传感器提供高速、高分辨率、多功能、无阴影的 3D 在线检测性能，具有出色的兼容角度（最大兼容角度可达 +/- 85 度），适用于半导 |
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| 产品参数 |
| G4000 系列型号 | 4010 | 4020 | |
| 轮廓线点数 | 1920 | 1920 | |
| 扫描速率(Hz)* | 4300-14000 | 4500-16000 | |
| X方向分辨率(μm) (轮廓线数据间隔) |
1.9 | 2.6 | |
| Z方向线性度(+/-%of MR)** | 0.06 | 0.02 | |
| Z方向重复性(μm)** | 0.12 | 0.25 | |
| 安装净距离(CD)(mm) | 9.3+/-0.2 | 27.8+/-0.3 | |
| 测量范围(MR)(mm) | 1.05 | 2.5 | |
| 视野(FOV)(mm) | 3.5 | 5.0 | |
| 最大兼容角度(°) | 45-85 | 30-85 | |
| 尺寸(mm) | 183x82x459 | 183x82x428 | |
| 重量(kg) | 10.4 | 9.6 | |
| 以下规格适用于全部GOCATOR 4000系列型号 | |||
| 接口 | 千兆以太网 | *速度范围从默认配置(全视场和全测量范 围)到高速配置(缩小视场和测量范围、关 闭均匀间距、优化数据间距和输出) **此结果通过LMI标准和优化的传感器配置 实现 |
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| 输入 | 差分编码器、触发 | ||
| 输出 | 2x数字输出 | ||
| 工厂通讯 | PROFINET、Modbus、EtherNet/IP、ASCII、Gocator | ||
| 输入电压(功率) | +24到+48 VDC(77瓦);波动范围：+/-5% | ||
| 机身防护 | 金属全封闭机身，IP50 | ||
| 运作温度(℃) | 1 5 至 3 5 | ||
| 存储温度(℃) | -30至70 | ||
| 抗震性 | 频率10-55 Hz,X、Y和Z三个方向上1.5 mm双向振幅，每个方向持续2小时 | ||
| 抗冲击性 | 15g,半正弦冲击，周期11 ms,从X,Y和Z三个方向的正负方向冲击 | ||
| 扫描软件 | 基于浏览器的图形界面和开源SDK(软件开发包)实现参数设置和三维数据实时可视化。提供开源SDK、本地驱动以及支持标准工业 协议方便与用户应用、第三方图像处理软件、机器人和PLC集成 |
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| 产品尺寸 |
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| 应用示例 |
| 半导体行业 | |
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半导体 BGA Bump检测 |
引线键合检测 |
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晶圆细小缺陷检测 |
芯片包装 |
| 同轴线共焦传感器“原理” | |
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以高分辨率进行可靠、精确且可重复的尺寸测量。在同轴共焦设计中， 入射白光通过彩色透镜成像，沿Z轴产生连续的单色光，对光轴进行“颜色编码”。 当物体位于该色场内时，单个波长会固定在其表面，被反射回光学系统，反射光束通过过滤孔， 由光谱仪获取。通过计算光束的特定波长，以精确确定在测量范围中的位置。
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| 同轴线共焦传感器“优势” | |
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Max-陈先生