点光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感器

微米级非接触精密测量

  • 具有超高分辨率及同光轴回传信号不会被遮挡
  • 检测头不含电子元件,不受环境干扰采用白光(可见光)光源系统
  • 独特多层材质测量算法,可测量透明/半透明多层材质间的厚度或间隙

产品特点

  • 在线检测各种材质物体(透明、曲面、镜面、液滴、胶水等)
  • 无阴影效应(非三角测量法)
  • 对于透明材质可同时测量多层数据
  • 分辨率最小0.纳米,最小直径38mr
  • 规格覆盖广,目前已经覆盖0.1~25mm量程,从量程0.05~50mm可以非标定制。最小直径38mm测量角度大
  • 4mm量程最大达镜面±48°,8mm量程±33°;镜面±60°的设计角度非镜面表面±88
  • 支持一个控制器带多个检测头,降低成本
  • 标配不锈钢护套5m长光纤,方便穿入拖链

产品应用

  • 3D玻璃检测、陶瓷后盖、石墨模具曲面轮廓、弯曲半径、平面度测量
  • 胶水测厚、胶水测高、液滴、液位、透明涂层厚度测量/、狭缝底部胶水/边缘胶水
  • 手机摄像头框、中框、卡托、段差、台阶、刀纹、组装定位、粗糙度、平面度、轮廓、五金塑胶部件测量
  • 银浆测厚、湿膜、太阳能电池、LTCC、蚀刻深度、微流道、激光打标/凹槽深度、元件引脚共面、硅片厚度测量
  • 电池极片、电池板材,胶片、薄膜、箔片厚度(对射测量)
  • 球面、非球面镜片轮廓、摄像头、珠宝、光学零件检测,组装定位
  • 孔深、丝杆螺母内槽、螺纹内壁检测测量

螺纹孔的深度测量

产品参数

快速选型表:(C50 光纤,常备推荐系列,按口径从大到小排序)

型号
镜头加LECL-套装加
LECU-
外径D 最大量程 R* 最大角度A
(镜面)*
工作距离 C 最小光斑直径 S* 分辨率 * 总长L 粗糙表面应用 特色与应用举例
单位 mm mm mm um nm mm    
D82A59R1S7 ★ 82 1.7 ±59 12.1 5.8 3.2 298.6 推荐 极大角度,小光斑: 3D玻璃、陶瓷、胶水、
镜片、倒角等
D82A60R3S7 ★ 82 3.5 ±60 13 5.8 6.4 298.6 推荐
D55A48R2S11 ★ 55 2 ±48 16.7 11.4 3.8 197.5 推荐 超大角度,高速度: 3D玻璃、陶瓷、胶水、倒角、
中框、五金、段差、等
D55A48R4S11 ★ 55 4 ±48 15.7 11.4 7.6 197.5 推荐
D55A36R2S8  ★ 55 2 ±36. 7 22.1 8.4 3.7 190. 5 推荐 大角度,小光斑,长工作距:
3D玻璃、陶瓷后盖、中框、五金、段差、胶水等
D55A38R4S8 ★ 55 4 ±38.7 21.1 8.1 7.4 190.5 推荐
D55A33R8S9 ★ 55 8 ±33 26.2 9.2 14.7 194.8 推荐 大角度,大量程,长工作距;
玻璃、陶瓷、金属、中框、段差、台阶、汽车玻璃等
D55A13R13S35 ★ 55 13 ±13. 8 63.7 35.2 24 201 一般 超大量程,超长工作距;大段差、深孔、玻璃瓶或透明容器、
瓷器、汽车玻璃、平板玻璃、轧钢板等
D55A16R25S30 ★ 27 25 ±16.1 70 30.2 45.8 201 一般
D27A30R1S8 ★ 27 1.1 ±29. 6 17.4 8.1 2 155.8 推荐 体积角度适中,光斑小;通用推广型号,适合多种用途
D27A30R2S8 ★ 27 2.1 ±29.6 17.4 8.1 4 155.8 推荐
D27A30R4S8 ★ 27 4.2 ±29.6 16.4 8.1 8 155. 8 推荐
D27A38R01S4 ★ 27 0.1 ±38.9 6.9 4.2 0.2 148.7 推荐 超高分辨,小光斑;粗糙度、油墨、银浆、微观形貌、
平面度、硅片、屏幕、箔片、锂、电极卡、薄膜测厚
D27A38R02S4 ★ 27 0.2 ±38.9 6.9 4.2 0.4 148.7 推荐
D27A39R05S4 ★ 27 0.5 ±39.6 6.8 4.1 1 148.7 推荐
D15A37R05S8 ★ 15 0. 5 ±37.4 7 8.3 3.8 81.4 推荐 小体积,大角度;并列测量、粗糙度、油墨
银浆、形貌、平面度、硅片、屏幕、箔片、锂电极片、薄膜测厚
D15A37R1S8 ★ 15 1 ±37.8 6.7 8.2 1.9 81.4 推荐
D55A36R1S4 ★ 55 2 ±36.7 22.1 4.2 1.9 190.5 推荐 大角度,小光斑,长工作距;
3D玻璃、陶瓷后盖、中框、五金、段差、胶水等
D55A36R2S4 ★ 55 2 ±36. 7 22.1 4.2 3.7 190.5 推荐
D55A38R4S4 ★ 55 4 ±38.7 21.1 4.1 7.4 190.5 推荐
D27A30R1S4 ★ 27 1.1 ±29.6 17.4 4.05 2 155.8 推荐 体积角度适中,光斑小:通用推广型号,适合多种用途
D27A30R2S4 ★ 27 2.1 ±29. 6 17.4 4.05 4 155.8 推荐
D27A30R4S4 ★ 27 4.2 ±29. 6 16.4 4.05 8 155.8 推荐
D27A38R02S2 ★ 27 0.2 ±38.9 6.9 2.1 0.4 148.7 推荐 超高分辨,超小光斑;微观形貌、粗糙度、油墨、银
浆、薄膜测厚
D27A39R05S2 ★ 27 0.5 ±39.6 6.8 2.05 1 148.7 推荐

* 量程、角度为极限值,使用时建议预留20%以上以免超出极限;光斑尺寸为单波长时光纤端面成像到被测物方的尺寸;分辨率为理论值。

* 单边测厚模式下,目前最薄可以测量15um的透明层厚度。多层透明材质要求层与层之间有折射率差异,才有层间反射光。

* 于粗糙表面可测量角度通常都大于87度。