超高精度激光位移传感器CDX系列
业界超高的线性精度±0.018%F.S.
采用最新的感光元器件ATMOS
无反馈式的超速快门
激光等级Class也可稳定测量
高速测量采样周期max:12.5μs
无需外加控制器,可直接连接网络
搭载WEB服务器
CDX系列
业界超高线性精度的激光位移传感器。
- 采用最新研发的感光元器件ATMOS
- 直接与Ethernet连接
- 搭载WEB服务器
应用
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凸轮轴的形状测量 | 传动器的平整度测量 | 轮胎的外观测量 |
线性精度 ±0.015%F.S. ※ 与其他三角形测量方式的漫反射型激光位移传感器相比。
线性精度比较 以上测试结果轻松超出目录规格表中的[±0.015%F.S.], 当属业界最高的线性精度。 与以往产品相比,测量精度实现压倒性的优势。 ※ 被测物倾斜角度: ±0°。漫反射模式。
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Advanced Opto-technology & High-rigidity design 先进的光学系统及高刚性机壳,实现前所未有的线性精度 为实现超高的测量精度,采用最新研发的的光学系统及独立单元结构设计的高刚性机壳。 高精度·高速同时兼顾,有效排除导致测量误差的影响因素。
New algorithm 采用新开发的独立算法,有效提高其线性精度。 基于彻底的反复评估该算法,实现测量的超高精度。 |
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智能手机的外壳高度测量(正反射模式) | 玻璃基板的平整度测量(正反射模式) | 大直径钻头的震动幅度测量 |
高精度·高速·高稳定性的新型感光元器件
最新研发的感光元器件:ATMOS
CDX系列采用最新研发的“ATMOS”感光元器件(图像传感器)。 精度比以往产品提高2.7倍以上;实现业界最高的线性精度。 ATMOS:Auto Tuning cMOS |
无反馈式的超高速快门
传统的感光元器件,当被测物从亮色瞬间变化为暗色(受光量急剧变化)时,快门]的控制跟不上,有可能出现瞬间检测不到的可能。 最新研发的“ATMOS”感光元器件,采用业界首创的算法,无需快门反馈控制,消除瞬间检测不到或响应延时等异常现象,实现实时测量。 |
即使激光等级Class1也可稳定测量 即便采用Class1等级的激光,但由于“ATMOS”感光元器件的超高灵敏度,CDX系列也可保证较高的稳定性。 检测轮胎等黑色物体时,就算不使用高功率的激光也可实现高精度测量。 不仅确保对人眼的安全性保护,也可实现检测黑色物体的稳定性。 |
高速测量:采样周期Max.12.5μs
超高灵敏度的“ATMOS“”感光元器件,测量时最大限度的缩短漏光时间,提高快i门的速度。 最快采样周期12.5μs,较以往传感器提高8倍以上,完全满足要求高速测量的应用。 ![]() |
※ 采样周期12.5μs时,测量范围有所限制。详情请参考P.9。
无需外加控制器,可直接连接网络
直接与Ethernet连接
CDX系列内置Ethernet通信功能,因此无需外加控制器,可以直接与网络连接。不仅在系统配置成本.上削减了另购控制器的费用,而且节省了不少安装空间。
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需要模拟量电流输出或开关量输出的情况时
激光位移传感器控制单元CDA-M
CDA-M模块搭载视认性较高的有机EL显示器,可显示日文·英文两种语言。配置模拟量电流输出·开关量输出等两种控制输出,同时连接2台激光位移传感器时可实现厚度测量·段差测量等演算。 |
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型号 | CDA-M | |
连接传感器 (CDX系列) |
连接台数 | Max. 2台 |
连接方式 | CDA端:M8 4针连接器 | |
电源颛定值 | 电源电压 | DC12~24V ±10% |
消耗电流 | 100mA以下(12V时) | |
表示 | 点阵显示器 | 有机EL显示器 128x 96像素 |
指示灯 | 电源指示灯:红/绿色 输出1~3指示灯:橙色 | |
模拟量电流输出 | 4~20mA/F.S. 负载阻抗300Ω以下 | |
开关量输出 | 集电极开路(NPN/PNP功能内切换)3CH输出 Max 100mA/DC30V 残留电压:1.8V以下 |
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外部输入 | 2点 | |
连接方式 | 电缆式:2m电缆线 Φ5.8mm | |
耐环境性 | 使用环境温度/湿度 | -20~+50℃/35~85%RH(无结露·结冰) |
存储环境温度/湿度 | -20~+60℃/35~85%RH (无结露·结冰) | |
抗震动 | 10~55Hz双振幅1.5mm X, Y, Z各方向2小时 | |
耐撞击 | 约50G(500m/S2)X, Y,Z各方向3次 | |
保护电路 | 反接保护 | |
防护等级 | IEC规格 IP50 | |
材质 | 聚碳酸酯(PC) | |
质量 | 170g |
- CDX系列连接CDA模块时,不能进行CC-Link通信。需要CC-Link通信时请另购CC-Link通信单元UC1系列(CDX系列+CDA系列+UC1系列)。
- CDX系列连接CDA模块时,不能通过CDA模块来设定·更改CDX系列本体内的设定值。详情请参考CDX系列的操作说明书资料。
- CDA模块可使用·设定的开关量输出:仅CDX系列的CH1。
- 连接CDX长距离机型时CDA模块模拟量电流输出时的分辨率(重复精度)比规格有所降低,如下所示。敬请注意。
CDX-85A/-W85A:0.8μm CDX-150A/-W150A:1.6μm
另外,CDX的平均采样次数设定值过小导致CDX的分辨率(重复精度)下降时,CDA-M输出的模拟量信号的分辨率(重复精度)也随之下降。
搭载WEB服务器
无需设定软件
CDX系列本体搭载WEB服务器。因此CDX可直接连接PC,通过Web浏览器查看·更改传感器的测量值/设定值等内容,无需配置专用的PC操作软件。
浏览器规格:Intermat Explorer Ver.11以上、Google ChromB49以上
主要功能 |
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可显示测量值及其变化曲线图。 也可直观反映归零的设定结果。 同时显示4CH开关量输出,可显示各CH输出的位移量、厚度、速度、加速度等测量内容。 |
最多可保存测量值数量:100,000个。 通过Web浏览器,可查阅保存的测量值数据或将保存数据下载至 .CSV格式文件。 |
通过查阅显示的受光波形,可确认传感器的受光量状态及安装角度是否理想。 另外,如果测量范围内存在不需要检测的对象或环境乱光干扰,可以使用新开发的遮盖功能将该干扰区域屏蔽掉,提供传感器的稳定性。 |
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其他功能 |
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系统配置
可选购件
电缆源 · 连接器
种类 | 规格 | 线长 | 型号 |
感应头延长线![]() |
感应头与连接器单元之间的专用延长线 最长可延长至20m 机械手专用的高柔性电缆线
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2m | DSC-1208-G02MA |
5m | DSC-1208-G05MA | ||
10m | DSC-1208-G10MA | ||
Ethernet 电缆线 |
连接器单元与Ethernet端口之间的专用电缆线 机械手专用的高柔性电缆线
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2m | SSL -2J04-G02ME-R |
5m | SSL -2J04-G05ME-R | ||
10m | SSL-2J04-G10ME-R | ||
电源·外部输入 电缆线 ![]() |
连接器单元的电源·外部输入电缆线
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2m | DOL-1204-G02M |
5m | DOL-1204-G05M | ||
连接器单元![]() |
感应头与各种电缆线连接的连接器单元 感应头附带的标配品 |
—— | SYL-1208-G0M |
控制器单元 · 专用电缆线
种类 | 规格 | 线长 | 型号 |
控制器单元![]() |
最多可同时连接2台传感器。 配置模拟量电流输出及开关量输出,并可同时连接2台传感器 实现厚度 · 段差测量等应用的演算。 |
2m | CDA-M |
传感器·控制器单元 连接的电缆线 ![]() |
连接器单元与控制器单元之间的专用电缆线 机械手专用的高柔性电缆线
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2m | DSL-1 204-G02M |
传感器·控制器单元 之间的延长线 |
DSL-1204-G02M的延长电缆线 机械手专用的高柔性电缆线
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2m | DSL-0804-G02M |
5m | DSL-0804-G05M |
- 连接控制器单元使用时,请将电缆线总长度(传感器延长线+连接传感器 · 控制器单元的电缆线+传感器·控制器单元之间的延长线)控制在10m以内。
- 连接控制器单元使用时,不能通过CDA模块来设定 · 更改CDX系列本体内的设定值。详情请参考CDX系列的操作说明书资料。
- 控制器单元可使用·设定的开关量输出:仅CDX系列的CH1。
- 连接控制器单元使用时,CDX系列不能进行CC-Link通信。需要CC-Lnk通信时请另购CCL ink通信单元UC1系列(CDX系列+CDA系列+UC1系列)。
- 连接CDX长距离机型时CDA模块模拟量电流输出时的分辨率(重复精度)比规格有所降低,如下所示。敬请注意。
- CDX- 85A/-W85A: 0.8μm CDX-150A-W150A: 1.6μm
另外, CDX的平均采样次数设定值过小导致CDX的分辨率(重复精度)下降时,CDA-M输出的模拟量信号的分辨率(重复精度)也随之下降。
参数
感应头(不同型号规格)
型号 | CDX-L15A | CDX-LW15A | CDX-30A | CDX-W30A | |||
光学方式/检测模式 | 正反射模式 | 漫反射模式 | 正反射横式 | 漫反射模式 | 正反射横式 | ||
测量范围影 ※1 | 15±1mm | 30±5mm | 25.5±3.0mm | 30±5mm | 25.5±3.0mm | ||
光源 | 介质 | 红色半导体激光 | |||||
波长 | 655nm | ||||||
最大输出功率 | 0.39mW | ||||||
激光等级 | JIS/IEC | CLASS 1 | |||||
FDA ※2 | CLASS 1 | ||||||
光斑尺寸 ※3 | Φ30μm | 30x1000μm | Φ30μm | 30x1000μm | |||
线性精度 |
±0.05% F.S. (±1.0μm) |
±0.03% F.S. (±3.0μm) |
±0.04% F.S. (±2.4μm) |
±0.015% F.S. (±1.5μm) |
±0.04% F.S. (±2.4μm) |
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分辨率 ※4 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
重复精度 ※5 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
采样周期 | 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto | ||||||
湿度漂移 | -10~+40℃ | ±0.02% F.S./℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.01% F.S./℃ | ±0.02% F.S./℃ | ||
+40~+50℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.1% F.S./℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.04% F.S./℃ | |||
重量 | 约300g(包含500mm的电缆线) | 约280g(包含500mm的电缆线) |
参数
感应头(不同型号规格)
型号 | CDX-85A | CDX-W85A | CDX-150A | CDX-W150A | |||
光学方式/检测模式 | 漫反射模式 | 正反射模式 | 漫反射模式 | 正反射横式 | 漫反射模式 | ||
测量范围影 ※1 | 85±20mm | 81.5±10.0mm | 85±20mm | 81.5±10.0mm | 150±140mm | ||
光源 | 介质 | 红色半导体激光 | |||||
波长 | 655nm | ||||||
最大输出功率 | 0.39mW | ||||||
激光等级 | JIS/IEC | CLASS 1 | |||||
FDA ※2 | CLASS 1 | ||||||
光斑尺寸 ※3 | Φ70μm | 70x2000μm | Φ120μm | 120x4000μm | |||
线性精度 |
测量范围65-85mm: ±0.018% F.S. (±7.2μm) 测量范围85~105mm: ±0.03% F.S. (±12.0μm) |
±0.03% F.S. (±6.0μm) |
±0.015% F.S. (±6.0μm) |
±0.03% F.S. (±6.0μm) |
测量范围110-150mm: ±0.03% F.S. (±24μm) 测量范围150-190mm: ±0.04% F.S. (±32μm) |
±0.015% F.S. (±12μm) |
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分辨率 ※4 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
重复精度 ※5 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
采样周期 | 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto | ||||||
湿度漂移 | -10~+40℃ | ±0.01% F.S./℃ | |||||
+40~+50℃ | ±0.03% F.S./℃ | ||||||
重量 | 约280g(包含500mm的电缆线) |
测试条件 |
无特别注明的测试条件如下所示: 使用环境温度:25℃(常温)、电源电压:DC24V、采样周期:25μs、平均采样次数:256、中值滤波器:31、检测距离:中心位置、测试物体:标准工件(正反射:铝蒸镀镜、漫反射:可视光遮蔽性陶瓷)。 |
※1 采样周期设定为最快速度(12.5μs)时,测量范围变短。请参考下表近端/中心/远端分别对应的测量范围,选择所需的测量范围。
型号 | 测量范围 | |||
近端 | 中心 | 远端 | ||
CDX-L15A/-LW15A | 14.0 ~ 14.6mm | 14.4~ 15.4mm | 15.3~ 16.0mm | |
CDX-30A/-W30A | 漫反射模式时 | 25.0~ 28.1mm | 27.8~ 31.9mm | 31.1~ 35.0mm |
正反射模式时 | 22.5 ~ 24.0mm | 22.8~ 27.9mm | 26.7 ~ 28.5mm | |
CDX 85A/-WB5A | 漫反射模式时 | 65.0~ 77.7mm | 73.5~ 90.8mm | 84.8~ 105.0mm |
正反射模式时 | 71.5~ 74.3mm | 70.6~ 86.9mm | 81.0~ 91.5mm | |
CDX-150A/-W150A | 110.0~ 134.4mm | 124.8~ 166.3mm | 150.2~ 190.0mm |
※2 符合FDA的Laser Notice No.50规定、属于IEC 60825-1:2007标准的CLASS 1等级。
※3 以检测中心距离为准,中心光束强度的1/e2 (13.5%)来界定。界定的光斑尺寸范围以外有漏光、或光束周边存在比被测物体反射率高的物体时,有可能出现误检。
※4 每隔3秒改变一次传感器和被测物之间的距离。在一个方向上以一个步距一个步距的递增/递减检测距离,传感器能够辨别的最小步距为分辨率(平均采样次数:65536次时)。
※5 检测完全静止状态下的被测物时,测量值波动的最大幅度(平均采样次数:65536次时)。
感应头(共通规格)
电源电压 | DC12~24V ±10% | |
消耗电流 | 180mA(DC24V时) | |
通信接口 | Ethernet(100BASE-TX) / IEEE1588 | |
外部输入 | 激光关闭、保持/复位功能、开始保存(数据存储器) 、归零设定等可选择 | |
指示灯 | Link指示灯(绿) /电源指示灯(橙/绿/蓝/红) | |
防护等级 | IP67 (包含连接器) | |
使用环境温度/湿度 | -10~+50"C / 35~85% RH (无结露·结冰) | |
存储环境温度/湿度 | -20~+60C / 35~85% RH (无结露·结冰) | |
使用环境照度 | 白炽灯:3000lx 以下、荧光灯:10000lx 以下 | |
抗震动 | 10~55Hz双振幅1.5mm X, Y, Z各方向2小时 | |
耐撞击 | 50G (500m/s-) X, Y,乙各万可3次 | |
适用法令 | EMC | EMC指令(2014/30/EU) |
环境 | RoHS指令(2011/65/EU)、电池指令(2006/66/EC)、中国RoHS(指令第32号) | |
安全 | FDA规定(21 CFR 1040.10及1040.11)※8 | |
适用规格 | EN 60947-5-2:2007 / A1:2012,IEC 60825-1:2007及2014 | |
预热时间 | 约30分钟 | |
材质 | 本体:铝压铸 镜头板:玻璃 |
※6 与Laser Notice No.50的不同点除外。